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    链式湿法刻蚀设备

    凤凰城重庆时时彩开户 www.zcym.icu 设备简介   

    设备名称:链式湿法刻蚀设备

    设备型号:SC-LSS4500CS/ SC-LSS8000CS

    设备用途:对单、多晶硅片进行刻蚀、清洗、干燥。

    工艺流程:正面?;ぁ淌础钕础嵯础娓?/span>

     

    技术特点 

    · 高产能:4500PCS/5道,8000PCS/10道。

    · 高均匀性,超长药液寿命。

    · 支持多种添加剂或混合添加剂技术。

    · 支持最薄120μm硅片。

    · 快速换液,在线换液。

    · 支持MES,选配在线称重检测。

    · 兼容酸抛光功能。

     

    ·免加硫酸

    ·无刻蚀线

    ·自动化程度高

    ·PID-Free(O3???,可?。?/span>

     

    设备参数

    链式湿法刻蚀设备(参数图).JPG

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